Produkto pavadinimas: Aliuminio skandžio purškimo taikinys
Produkto slapyvardis: AlSc target, aliuminio skandžio lydinio taikinys
Spalva: sidabrinė
Grynumas: didesnis arba lygus 99,9 %
Skandio kiekis: Sc 0.1%-99.9%
Density: >99.5%
Vidutinis grūdelių dydis:<500μm
Nurodytas šiurkštumas:<2μm
Forma: kvadratinis taikinys, apvalus taikinys, besisukantis taikinys (dydis gali būti pritaikytas pagal kliento reikalavimus)
Įrišimas: Indžio litavimas (rišimo būdas ir užpakalinės plokštės medžiaga gali būti pritaikyti pagal klientą)
Techninės savybės: ultravakuuminis liejimas, taikinio valymas ir plastiko apdirbimas
Aliuminio skandžio lydinio taikinio paruošimo būdas:
Šiuo metu yra du pagrindiniai aliuminio ir skandžio lydinio taikinių paruošimo būdai:
1.Skandio kiekis mažesnis nei 15 %:
Aliuminio ir skandžio lydinio paruošimui tinka naudoti priešpriešinio dopingo metodą, ty tiesiogiai į aliuminio lydinį įpilti metalo skandžio, gauti aliuminio ir skandžio lydinį liejant ir tada paruošti aliuminio ir skandžio lydinio taikinį.
Gamybos procesas daugiausia vyksta vakuuminio indukcinio lydymo būdu. Metalo skandis ir metalinis aliuminis dedami į tiglį pagal lydinio santykį indukciniam lydymui. Tiglio medžiagos parenkamos pagal lydinio sudėtį ir savybes. Jei lydinio medžiagai keliami aukštesni temperatūros, aktyvumo ar švarumo reikalavimai, tiglio medžiaga gali būti pakeista į cirkonio oksidą, kalcio oksidą, itrio oksidą arba vandeniu aušinamą vario tiglį, atsižvelgiant į situaciją. Po išliejimo lydinio tikslinis embrionas yra veikiamas vakuuminiu karštu presavimu, kalimu, terminiu apdorojimu ir tt, jei reikia, o tikslinis embrionas yra gesinamas ir grūdinamas, pvz., tankinimas, atkaitinimas, homogenizavimas ir smulkus grūdinimas. Grūdinti ir grūdinti tiksliniai ruošiniai apdorojami, valomi ir difuziškai suvirinami prie galinės plokštės pagal kliento reikalavimus.
2.Skandio kiekis daugiau kaip 15 %:
Tinka naudoti miltelių metalurgijos metodą, norint tiesiogiai maišyti, presuoti ir sukepinti skandžio ir aliuminio miltelius į tikslines medžiagas. Šiuo metodu paruoštas aliuminio ir skandžio lydinio taikinys yra gana vienodas ir turi platų pasirenkamą skandžio kiekio diapazoną. Tačiau taikinys turi problemų, tokių kaip didelis deguonies kiekis ir mažas tankis.
Mūsų institutas turi daugybę aliuminio ir skandžio lydinio taikinių paruošimo patentų ir gali gaminti didelio dydžio aliuminio ir skandžio lydinio taikinius, didesnius nei 12 colių, su nedideliu sudėties nuokrypiu ir dideliu grynumu. Bendras techninis lygis yra pirmaujantis šalyje ir pasaulinio lygio. Produktą patikrino vietiniai ir užsienio vartotojai.
Aliuminio skandžio lydinio taikinių pritaikymas:
Aliuminio ir skandžio lydinys yra didelio našumo aliuminio lydinys. Į aliuminio lydinį įdėjus skandžio pėdsakų, grūdelių rafinavimas gali padidėti 250-280 laipsnių perkristalizacijos temperatūra. Tai galingas grūdų rafinuotojas ir galingas aliuminio lydinių perkristalizavimo agentas. Kristalizacijos inhibitoriai turi didelę įtaką lydinio struktūrai ir savybėms, labai pagerėja jo stiprumas, kietumas, suvirinamumas ir atsparumas korozijai. Skandis turi gerą aliuminio dispersiją stiprinantį poveikį ir išlaiko stabilią neperkristalizuotą struktūrą karšto apdorojimo ar atkaitinimo metu. Kai kurie iš šių aliuminio ir skandžio lydinių yra šaltai valcuoti lakštai, kurie buvo labai deformuoti ir išlaiko šią struktūrą net po atkaitinimo.
Skandis turi gerą legiravimo poveikį lydinio taikiniams. Pridėjus jį prie aliuminio, gali susidaryti išsklaidyta Al3Sc fazė, kuri labai pagerina aliuminio lydinio struktūrą ir taip pagerina jo stiprumą. Aliuminio ir skandžio lydinio taikinys yra atsparus korozijai ir atsparumas spinduliuotei. Jis turi stipraus stiprumo, mažos varžos ir didelio šiluminio stabilumo pranašumus ir gali atitikti pagrindo elektrodų sluoksnių ir didelio masto integrinių grandynų laidų medžiagų padengimo ir naudojimo reikalavimus.
Aliuminio ir skandžio lydinio taikinys naudojamas skandžiu legiruoto aliuminio nitrido (ScAlN) plonoms plėvelėms ruošti magnetroniniu reaktyviniu nusodinimu. Skandiu legiruota aliuminio nitrido plėvelė turi didelę pjezoelektrinę konstantą, kuri yra maždaug dešimt kartų didesnė nei tradicinės AlN plėvelės. Skandio aliuminio nitrido (ScAlN) pjezoelektrinė plėvelė turi didelių pranašumų, tokių kaip didelis garso greitis, geras terminis stabilumas ir didelis juostos tarpas. Visų pirma, jis yra suderinamas su CMOS procesu ir gali įveikti aliuminio nitrido (AlN) pjezoelektrinės plėvelės slėgį. Mažo elektrinio korpuso ir mažo elektromechaninio sujungimo koeficiento trūkumai turi svarbią taikymo vertę masinėse akustinėse bangose, paviršiaus akustinėse bangose, energijos surinkime, ultragarso aptikimo ir lauko efekto tranzistoriuose. ScAlN plėvelės gali būti naudojamos ruošiant mikroelektromechanines sistemas (MEMS), 5G radijo dažnių (RF) filtrus, ultragarsinius keitiklius (PMUT), gestų ar pirštų atspaudų atpažinimo įrenginius, medicininius jutiklius ir kt.
Atėjus 5G naujos kartos ryšio erai, be pralaidumo ir duomenų perdavimo spartos, dar vienas esminis parametras yra signalo vientisumas, todėl reikia pagerinti Q reikšmę. Q reikšmė yra susijusi su plonos plėvelės medžiagos, naudojamos programoje, pjezoelektrinėmis savybėmis. Šiuo metu naudojami AlSc lydiniai turi skirtingą skandžio (Sc) kiekį. Didesnis Sc kiekis gali padidinti pjezoelektrines savybes. Kuo mažesnis deguonies kiekis, tuo akivaizdesnis pjezoelektrinių savybių pagerėjimas. HNRE dabar naudoja naują technologiją, kad gamintų mažai deguonies turinčius aliuminio ir skandžio lydinio taikinius, kurių Sc atomų kiekis yra iki 43%.
Populiarus Žymos: „alsc alloy target“, Kinijos „alsc alloy target“ gamintojai, tiekėjai